일반기술
면발광 레이저 다이오드 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 면발광 레이저 다이오드 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판에 홈을 형성한 뒤 그 위에 n형 클래드층, 활성층, p형클래드층, 캡층 제 1절연막을 형성하고 제 1절연막을 마스크로 이용하여 습식식각하여 굽은 도파로를 형성한 뒤, 제 1절연막을 제거하고 전면에 제 2절연막을 증착하고 콘택홀을 형성하여 일측 경사면과 평탄면에 p형 전극을 형성한 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술은 광의 진행방향을 기판으로부터 20∼45° 조정할 수 있어 전기적으로 광학적 광효율이 향상된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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