일반기술
전계 방출 소자 및 제조 방법
- 개요 본 기술은 전계 방출 소자에 관한 것으로, 특히 MIM(METAL INSULATING METAL) 캐소드의 터널 산화막 특성 열화를 최소화하여 전계 방출 소자의 신뢰성과 수명을 연장하는데 적당하도록 한 전계 방출 소자 및 제조방법에 관한 것임.- 특징 하판 유리의 상부에 차례로 이종 금속을 첨가한 알루미늄 합금층과 순수 알루미늄층을 성막하고 패터닝하여 하부 전극층을 형성하는 단계와, 순수 알루미늄층의 상부 일부를 포토레지스트 패턴으로 보호하고 하부 전극을 산화시켜 양극 산화막을 형성한 후 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계와, 드러난 순수 알루미늄층을 모두 산화시켜 터널 산화막을 형성하는 단계를 포함함.- 효과 특성이 좋은 순수한 산화물을 터널 산화막으로 사용할 수 있어 소자의 신뢰성 및 수명이 개선되는 효과가 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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