일반기술
전계방출소자 및 그의 제조방법
- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것임.- 특징 전자 방출용 터널 산화막과 양극 절연막이 상부에 형성된 하부 전극과, 하부 전극 상부에 위치하는 개구부 및 버스 구조를 가지는 상부 데이터 전극과, 상부 데이터 전극 상에 위치하며 개구부 구조를 가지는 절연층과, 개구부 주변의 절연층 상부 일부와 스페이서 장착 영역에 위치하며 하부에 도금 시드층을 가지는 상부전극 분리층과, 구조물 상부 전면에 위치하며 상부전극 분리층에 의해 부분적으로 분리되는 최상부 전극을 포함함.- 효과 구조적으로 취약한 오버행 구조물 없이도 최상부 전극 형성으로부터 전극들 간 절연을 제공하는 것은 물론이고 스페이서 전극을 제공하도록 하여 전극간 절연을 개선하고 소자의 파괴를 방지하며 스페이서 장착부에 전극과 완충기능을 제공할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.