일반기술

플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 격벽측정 시스템 및 그 격벽측정방법

기술의 개요 - 본 기술은 현미경 프로브를 소정의 속도로 상승 및 하강시키면서 일정 간격으로 화상을 입력받아 전 영역에서 격벽의 2차원 치수 및 3차원 높이를 고속으로 측정하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 격벽측정 시스템 및 그 격벽측정 방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 대상기판의 격벽 화상을 입력받기 위한 현미경 프로브와, 현미경 프로브를 지지하는 동시에 X,Y,Z축으로 이동시키기 위한 3축 기구부, 3축 기구부의 동작을 제어하는 3축 콘트롤러, 현미경 프로브를 통해 입력되는 화상을 처리하기 위한 프레임 그래버(frame grabber)와, 3축 콘트롤러에서 출력되는 위치정보를 입력받아 일정시간 간격으로 동기신호를 현미경 프로브 및 프레임 그래버로 출력하는 펄스 카운터(pulse counter), 시스템 전체의 동작에 대한 소프트웨어를 탑재하고 프레임 그래버 및 3축 콘트롤러에 제어신호를 출력하는 컴퓨터로 구성된 것을 특징으로 한다.