일반기술

청정실내 비활성 잔류물의 측정장치 및 측정방법

위성체의 오염 물질인 비활성 잔류물의 측정 장치 및 측정 방법위성체의 오염 측정 방법의 하나로 청정실 내의 오염 물질을 질량 단위로 측정하여 위성체 오염여부를 측정

기술정보

정보 없음