일반기술
플라즈마 디스플레이 패널 제조용 식각 시스템
기술의 개요 - 본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라 부름)의 제조 시스템에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판상에 전극이나 격벽을 형성시키기 위해 전극 재료나 격벽 재료를 코팅한 후 식각하는 PDP 제조용 식각 시스템에 있어서, 기판을 향해 식각액을 분사하여 전극 재료나 격벽 재료를 식각하는 동작을 수행하는 식각조와, 식각조를 지난 기판을 향해 많은 양의 순수를 일시에 공급하는 순수공급부가 기판의 상부에 설치되어 기판상에 남아 있는 식각액을 제거하는 동작을 수행하는 샤워조, 샤워조를 지난 기판을 향해 압축 공기를 분사하여 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조조가 순차적으로 배치되어 구성된 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술은 시스템 설비의 전체 길이를 줄이고 식각공정의 정확성을 높일 수 있도록 한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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