일반기술
Ｘ-선 마스크 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 X-선 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것임.- 특징 X-선 흡수체 하부에 형성되어 마스크 기저막으로서 사용되는 수㎛ 정도의 얇은 막(MEMBRANE) 대신에 두꺼운 두께의 폴리머 필름 특히, 폴리이미드 필름을 사용함.- 효과 X-선 마스크에서 윈도우(WINDOW)로써 작용하는 면적을 획기적으로 넓혀 대면적의 윈도우에 요구되는 X-선 사진 식각 공정 분야에서도 사용이 가능함
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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