일반기술
광학계를 이용한 검사장치
- 개요 본 기술은 평판 디스플레이 검사장치에 관한 것임.- 특징 검사 대상물의 연직 상방에 위치되어 검사 대상물의 표면을 촬상하는 일반 광학계와, 일반 광학계에서 촬상된 화상을 분석하여 데이터화하는 제1 화상 획득부와, 제1 화상 획득부의 데이터에 따라 화상을 처리하고 인식하는 제1 화상 처리부와, 검사 대상물에 대하여 일정 각도 경사진 위치의 상측에서 검사 대상물의 표면을 촬상하는 경사 광학계와, 경사 광학계에서 촬상된 화상을 분석하여 데이터화하는 제2 화상 획득부와, 제2 화상 획득부의 데이터에 따라 화상을 처리하고 인식하는 제2 화상 처리부와, 제 1 화상 처리부 및 제2 화상 처리부의 처리 결과에 따라 결함을 검출하는 검출부로 구성됨.- 효과 평판 디스플레이를 자동으로 검사할 때 경사각에서의 검사가 가능하도록 하여 검사의 신뢰성을 향상시키고 검사 속도를 향상시킬 수 있음
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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