일반기술
박막인덕터의 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 박막인덕터의 제조방법에 관한 것으로 특히, 박막인덕터의 코일을 형성할 때 코일을 평탄하게 하는 폴리이미드막을 얇게 형성하는 방법에 관한 것이다. 기술의 특징 - 본 기술은 반도체기판 위에 하부자성막과 금속을 연속으로 증착하는 단계와, 금속을 소정의 마스크로 패터닝하여 씨드층을 형성하는 단계, 씨드층이 형성된 하부자성막 위에 제1폴리이미드를 증착하는 단계, 제1폴리이미드를 패터닝하여 씨드층이 노출되도록 하는 단계, 노출된 씨드층에 금속을 도금하여 코일이 형성되도록 하는 단계, 코일과 제1폴리이미드 위에 제2폴리이미드를 증착하는 단계, 그리고 제2폴리이미드 위에 상부자성막을 형성하는 단계로 구성되어있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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