일반기술
압전 구동형 미소 거울 및 그 제조방법
본 기술은 광통신용 스위치에 사용되는 압전 구동형 미소 거울 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징잔류 응력에 의한 초기 변형이 없고, 구동 각도가 크며, 구동 방향이 자유롭다.한 축의 자유도 뿐만 아니라 두 축의 자유도를 갖도록 제작할 수 있으므로 구동 각도와 방향이 더욱 자유롭다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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