일반기술
ＴＦＢＡＲ를 이용한 대역통과 필터 및 그 제조방법
본 기술은 대역통과 필터 제조 방법에 관한 것으로, 특히 TFBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonator)와 정합(matching)에 필요한 인턱터 한 개와 캐패시터 두 개만을 사용하여 대역통과 필터를 제작하는 방법에 관한 것이다.- 특징다른 크기를 갖는 마스크를 이용하여 연속적으로 다수의 압전층을 형성하여 압전층이 두께에 따라 다른 중심 주파수를 갖는 공진기가 병렬로 형성되어 정합 회로가 필요치 않고, 튜닝을 간단히 한다.TFBAR가 기존의 3개 이상에서 1개로 줄어들고, 정합 회로가 필요치 않으므로 인덕터와 캐패시터 등 수동소자의 개수를 줄여 수율이 향상되고 공정단가가 줄어들며 반도체 웨이퍼에 다른 소자와의 집적이 용이하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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