일반기술

액티브 영역에만 이미터 팁이 형성된 전계 방출형 표시소자 제조 방법

본 기술은 전계 방출형 표시소자의 제조 분야에 관한 것으로서, 특히 세 가지의 빔을 이용한 레이저 간섭 노광시 분리(parting)층 수직 증착법 및 메탈 리프트-오프(metal lift-off)법에 의하여 게이트 홀이 엑티브(active) 영역에만 위치하도록 하여 고전압에 의한 전계 집중에 의한 아킹 현상을 줄일 수 있고 그에 따른 전계 방출형 표시소자의 수명 및 신뢰성을 높일 수 있는 액티브 영역에만 이미터 팁이 형성된 전계 방출형 표시소자 제조방법에 관한 것이다.- 특징이미터 팁이 형성된 전계 방출형 표시소자 제조방법은 분리층 수직 증착법 및 메탈 리프트-오프법에 의하여 액티브 영역에만 이미터 팁을 형성시킴에 의하여 패널 내의 고전압에 의한 전계 집중에 의한 아킹 소스가 될 수 있는 것을 줄임으로써 전계 방출형 표시소자의 수명 및 신뢰성이 올라간다.메탈 리프트-오프법은 분리층 수직 증착법에 비하여 게이트 홀이 액티브 영역의 외부에는 존재하지 않으므로 게이트 전극의 면적 감소에 의한 저항 증가를 방지할 수 있다.