일반기술

플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 표면 유리기판과 전극 사이에 알칼리 이온에 대한 확산방지막을 형성시킴으로써 PDP 소자의 성능 및 수명을 증대시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 배면 유리기판 위에 격벽 및 어드레스(address) 전극을 스트라이프(stripe) 모양으로 형성한 후 소성을 수행하고 각 셀의 내부에 어드레스(address) 전극을 덮도록 형광체를 도포하는 제1 과정과, 표면 유리기판 위에 알칼리 이온의 이동을 방지하기 위한 확산방지막, 표시 전극, 유전체층(dielectric layer), 산화마그네슘(MgO)을 이용한 유전체 보호층을 순차적으로 적층한 후 소성을 수행하는 제2 과정, 어드레스 전극과 표시 전극이 소정의 공간을 사이에 두고 서로 직교하도록 배면 유리기판과 표면 유리기판을 밀봉체(sealing glass frit)를 사용하여 융착시킴으로써 조립하는 제3 과정으로 이루어지는 것이다. - 이 때, 확산방지막은 Cs+ 이온빔 스퍼터링 증착(Sputtering Deposition) 방법으로 형성되는 CNx(Carbon Nitride) 박막으로써 1000 내지 2000Å의 두께로 형성되고, 질소 함유량은 40 내지 50% 이며, 가시광선에서의 투과율은 90% 이상인 것이 특징이다.