일반기술
엑스(X)선을 이용한 박막재료의 밀도측정방법
기술의 개요 - 본 기술은 박막재료의 밀도를 측정하는 방법에 관한 것으로, 특히 X-ray를 이용하여 박막재료를 파괴하지 않고 정확한 밀도를 측정하는 기술에 관한 것이다. 기술의 특징 - 본 기술은 소정의 재료로 구성된 박막이 입혀진 기판에 소정의 주기로 입사각을 일정하게 변경하면서 X-ray를 투사하는 단계, 투사된 X-ray의 반사선 강도(intensity)의 요동(oscillation)의 주기를 측정하고, 투사된 X-ray의 파장을 요동의 주기의 두배로 나눔으로써 박막의 두께를 구하는 단계, 박막재료에 의해 산란된 형광선을 측정하여 박막의 체두께(mass thickness)를 구하는 단계 그리고, 박막의 체두께를 박막의 두께로 나누는 단계로 구성된 것이 특징이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-25
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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