일반기술
엔-캠퍼술폰일옥시말레이미드의 공중합체 및 그의 제조방법
본 발명은 공중합체의 단위로서 N-캠퍼술폰일옥시말레이미드와 말레이미드계 화합물, 스티렌계 화합물, 및 메타크릴산에스테르계 화합물 중에서 선택된 한가지 또는 두가지를 교대 구조로 가진 공중합체 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본발명의 공중합체는 양호한 필름 형성능과 낮은 광흡수율을 나타내며 레지스트 응용에 매우 적절한 고분자이다.본 발명에서는 이전의 말레이미드 공중합체와 달리 단량체로서 말레이미드의 N-위치에 캠퍼술폰일옥시기가 결합된CmpSOMI를 사용하여 다른 공단량체와 교대 구조를 가진 공중합체를 얻을 수 있다. 본 발명에 따른 공중합체는 레지스트재료의 중요한 요구 물성인 200℃ 이상의 내열성을 나타내며 248nm에서 0.3/㎛ 이하의 낮은 광흡수율을 나타내어 레지스트 응용에 매우 적절한 고분자이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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