일반기술
나노 와이어 제조방법
본 기술은 나노 와이어 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 간섭 또는 홀로그램 리소그래피를 이용한 노광공정과 등방성 식각 공정을 이용하여 나노 크기의 와이어를 대량으로 제조할 수 있는 나노 와이어 제조방법에 관한 것이다.- 특징광학적 기구인 간섭 리소그라피와 반도체 식각 공정을 사용하여 정밀한 나노 와이어를 대량으로 생산할 수 있다.기존의 반도체 제조 공정을 그대로 사용하면 되므로, 별도의 추가되는 제조 장비와 공정이 없어 제조 단가가 저렴해진다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.