일반기술
전계방출소자 및 그의 제조방법
- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 형성된 하부 전극 및 하부 전극 일부에 형성된 양극 산화막과, 하부 전극의 상부 일부에 형성된 터널 산화막과, 터널 산화막 상부에 개구부를 형성하며 구조물 상부에 형성된 이중 절연막과, 이중 절연막 상부에 위치하며 돌출된 일부 영역만이 개구부 내부에 노출된 상부 데이터 전극과, 구조물 상부에 형성되며 데이터 전극과는 개구부 내부에 노출된 부분에서만 연결되는 최상부 전극을 포함.- 효과 MIM(METAL INSULATING METAL) 캐소드의 터널 산화막 절연 파괴로 발생하는 점결함이 선결함으로 나타나는 것을 방지할수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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