일반기술

전계방출소자 및 그의 제조방법

- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히 MIM(METAL INSULATING METAL) 캐소드의 하부 전극 표면 조도(ROUGHNESS)를 높이고 전압 강하를 줄이는데 적당하도록 한 전계방출소자 및 그의 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상부에 위치되고 전자 방출 부분에 따라 패터닝된 높은 전도성의 제 1하부 전극과, 패터닝된 하부 전극 상부에 위치하며 목표 표면 조도를 달성할 수 있도록 두께를 제한하여 형성된 제 2하부 전극과, 제 2하부 전극의 상부 일부를 제외한 부분에 형성된 양극 산화막과, 제 2하부 전극의 상부 일부에 형성된 터널 산화막을 포함함.- 효과 제 1하부 전극을 통한 전압 강하 방지와 제 2하부 전극을 통한 표면 조도 개선 효과를 동시에 제공하도록 하여 제 2하부 전극 상부에 형성되는 전자 방출부의 특성을 향상시키면서도 전압 강하에 의한 휘도 불균일을 해소할 수 있음.