일반기술
가스센서 제조 방법
- 개요 본 기술은 가스센서에 관한 것으로, 특히 히터 형성 시 열전도 구조물을 동시에 형성하여 가스 감지막의 온도 균일화를 이룰 수 있고, 그로 인해 가스센서의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 가스센서 제조 방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 절연성 지지막을 형성하는 단계와, 절연성 지지막 상부에 접착막(ADHESION LAYER)을 형성하고 그 접착막 상부에 히터와 열전도 구조물을 상하, 좌우로 대칭되게 동시에 형성하는 단계와, 구조의 상부에 절연막, 전극층 그리고 감지막을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐.- 효과 감지막 전체의 온도 균일화를 향상시킬 수 있고, 그로 인해 가스 검출에 대한 재현성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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