일반기술
표시소자의 전극패턴 형성방법
본 기술은 표시소자의 전극패턴 형성방법에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel , PDP)과 같은 대화면 표시장치에서 전극패턴을 형성하는 경우에 Cr 씨드층을 선택적으로 빠르게 식각할 수 있도록 한 표시소자의 전극패턴 형성방법에 관한 것이다.- 특징침적식 식각을 통해 Cr 씨드층을 식각하는 경우에도 식각의 선택성이 높고, 빠른 식각속도를 구현할 수 있게 되어 대형 표시장치에 유리하게 적용할 수 있으며, 제조시간을 단축함과 아울러 고가의 장비 사용을 배제하여 비용을 절감할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-26
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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