일반기술

디스플레이 제조용 식각시스템

기술의 개요 - 본 기술은 디스플레이 제조용 식각시스템에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판의 식각작업이 진행되는 처리조와, 처리조의 하측에 설치되어 식각액이 저장되는 약액탱크, 처리조 내부의 상부에 설치되어 기판을 향해 식각액을 분사하는 분사노즐, 약액탱크와 분사노즐을 연결하여 분사노즐로 식각액을 이동시키는 공급관, 공급관에 설치되어 분사노즐로 식각액을 압송시키는 펌프, 처리조의 상부에 설치되어 처리조 내에 존재하는 기체상태의 식각액을 외부로 배출시키는 배기관으로 구성되어 있다. - 또한, 펌프의 정지시 공급관 및 분사노즐 내의 잔존 식각액이 기판으로 흘러내리지 않도록 공급관 내의 압력을 배기관 내의 압력 정도로 감소시켜 공급관 내에 음압을 형성시키는 압력감소부를 추가한다.기술의 효과 - 본 기술은 펌프의 정지시 공급관 및 분사노즐 내의 잔존 식각액이 기판으로 흘러내리지 않게 되어 식각의 균일성이 향상되고 식각액의 손실이 방지되는 효과를 도출한다.