일반기술

금속표면에 불소화합물을 포함하는 다층 이온도금 방법

본 기술은 금속 표면에 ΑlＦ3 , Al(ＦχＯy)n 등의 불소화합물을 포함하는 다층 이온도금 처리하여 불소가스 분위기 하에서의 절삭공구나 금속 부품의 산화방지를 가능하게 한 금속표면에 불소화합물을 포함하는 다층 이온도금 방법에 관한 것으로, 절삭공구 또는 HF 가스에 노출되는 금속표면에 PEPVD 혹은 PECVD 방법으로 TiAlN을 이온 도금한 후 200∼400℃의 대기중에 1∼3시간동안 노출시켜 도금층 표면에 Al2O3층을 형성시킨 후 350∼400℃의 HF 가스 분위기하에 1∼6시간 동안 노출시켜 도금층 표면에 AlF3 나 Al(ＦχＯy)n 층을 형성시키는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 의하면, 금속표면에 ΑlＦ3 , Al(Ｆχ Ｏy )n등의 불소화합물을 포함하는 다층 이온도금 처리하여 불소가스 분위기 하에서의 절삭공구나 금속 부품의 산화방지를 가능하게 하여, 종래보다 경도가 높고 내마모성이 우수하며 고속절삭 공구의 수명을 수배로 증진시킬 수 있는 특장점을 갖는다.