일반기술
캔틸레버의 제조방법
- 개요 본 기술은 캔틸레버의 제조방법에 관한 것임.- 특징 실리콘 질화막으로 형성된 캔틸레버 부와 실리콘 팁으로 구성된 캔틸레버를 제조함으로써, 원자현미경 및 탐침형 정보저장장치용 캔틸레버의 두께 균일성을 크게 향상시키며, 잔류 응력이 매우 낮고 기계적인 특성이 우수한 캔틸레버를 구현할 수 있음.- 효과 실리콘 질화막 상부에 압저항 센서와 압전 엑튜에이터가 집적화된 캔틸레버를 제조할 수 있어, 종래의 실리콘을 이용한 자체 구동형 캔틸레버의 압저항 센서와 압전 엑튜에이터 사이의 전기적인 커플링(COUPLING) 문제를 해결할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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