일반기술
불소수지코팅에 의한 웨이퍼 연마슬러리용 교반기와 탱크의 부식방지방법
본 기술은, 불소수지 코팅에 의한 웨이퍼 연마 슬러리용 교반기와 탱크의 부식방지 방법에 관한 것이다. 종래에 염소가스에 의한 부식을 방지하기 위하여 교반기와 탱크를 스테인레스강의 재질로 사용하고 있는데, 스테인레스 강은 보통 크롬(Cr)을 주성분으로 하여 내식성의 향상을 꾀하고 있다. 그러나 스테인레스강을 교반기와 탱크에 적용한 결과 염소가스에 의한 반응으로 부식이 초래되어 내산, 내약품성에 취약한 문제점이 제기되었다. 본 기술은 종래 스테인레스강의 염소가스에 의한 부식을 미연에 방지하고 또한 부식에 따른 부식물(녹물, 이물)의 슬러리내 유입을 차단하기 위하여, 본 발명에서는 탱크와 교반기를 불소수지로 코팅시키므로써 용기의 부식과 슬러리의 오염방지 및 궁극적으로 고품위의 반도체 웨이퍼를 얻을 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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