일반기술

우선 배향성 강유전 박막의 제조방법

백금/티탄/산화규소/구소(Pt/Ti/SiO2/Si)가 순차적으로 적충된 기판 위에 스트론튬 비스무스 탄탈륨 산화물(SrBi2Ta2O9)을박막원료로 하고 알 에프 마그네스트론 스퍼터링법(R. F. magnetron sputtering)을 이용하여 강유전 스트론튬 비스무스탄탈륨 산화물(SrBi2Ta2O9) 박막을 제조함에 있어서 일정한 비율로 아르곤과 산소 존재하에 증착시켜 우선 배향성의 불휘발성 강유전 스트론튬 비스무스탄탈륨 산화물(SrBi2Ta2O9) 박막의 제조방법에 관한 것임.)본 발명의 사용 기판 위에 알에프 마그네트론 스퍼터링법으로 본 발명 사용산화물을 증착하여 박막을 형성하는데, 박막을 중착할때의 압력을 조절함으로써 우선 배향성을 가지는 불휘발성 강유전박막을 제조하는 것을 특징으로 하고 있다. 이렇게 함으로써 공정 단순화 와 함께 이로 인한 생산 효율 증대 및 공정 최적화 효과를 얻을 수 있게 된다.