일반기술

인덕터 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 박형화됨과 아울러 기판이 재사용되도록 한 인덕터 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 상부 자성체 및 하부 자성체를 마련하는 단계와, 상부 자성체와 하부 자성체 사이에 코일패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 코일패턴을 형성하는 단계는 기판을 마련하여 기판 위에 밀착력이 떨어지는 물질층을 성막하는 단계와, 밀착력이 떨어지는 물질층 위에 밀착력이 높은 물질층을 성막하는 단계와, 밀착력이 높은 물질층 위에 구리박막을 성막하는 단계와, 구리박막 위에 감광성 수지 패턴을 형성하는 단계와, 전기 도금을 행하여 코일패턴을 형성하는 단계와, 감광성 수지 패턴과 코일패턴 위에 금박막을 성막하는 단계와, 감광성 수지 패턴 및 밀착력이 떨어지는 물질층을 제거하는 단계와, 하부 자성체를 접합하고 기판을 제거하는 단계와, 상부 자성체를 접합하는 단계를 포함함.- 효과 기판을 재사용할 수 있으므로 재료 손실을 줄이면서 대량으로 재현성있는 제조가 가능함.