일반기술
전계방출소자와 그 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 양극산화공정을 이용하여 형성된 게이트홀에 의해 구동전압을 낮추며 전자방출을 균일하게 할 수 있는 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판상에 캐소드전극과 식각정지층을 형성하는 단계와, 캐소드전극과 식각정지층이 형성된 기판상에 절연층과 게이트전극 및 양극산화층을 형성하는 단계, 양극산화층을 부분적으로 양극산화하여 양극산화층 내에 다수개의 미세홀을 형성하는 단계와, 양극산화된 양극산화층을 마스크로 이용하는 사진식각법에 의해 게이트전극 및 절연막을 관통하는 다수개의 미세홀을 형성하는 단계, 양극산화된 양극산화층을 제거하는 단계, 미세홀 내의 캐소드전극상에 이미터를 형성하는 단계를 포함하며, 식각정지층은 미세홀의 형성시 절연층의 식각깊이를 제어하여 미세홀의 깊이를 제어하는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자요소 기술
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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