일반기술
전계방출 소자 제조방법
- 개요 본 기술은 전계방출 소자 제조방법에 관한 것으로, 특히 하부전극 공통라인을 하부전극과 선택적 식각이 가능한 식각 선택도가 높은 도전체로 형성함으로써 소자의 신뢰성을 높일 수 있는 전계방출 소자 제조방법에 관한 것임.- 특징 하부전극을 형성한 후 하부전극과 선택적 식각이 가능한 식각 선택도가 높은 도전체로 하부전극 공통라인을 형성하도록 하는 것에 의해 하부전극에 제공되는 전압을 균일하게 하면서 공통라인의 식각에 의한 소자의 손상을 방지할 수 있음.- 효과 상하판 접합 후 외부에 형성된 하부전극 공통라인을 디핑으로 제거할 수 있는 전계방출소자 제조방법을 제공함으로써 공정을 단순화 하면서도 소자 내부의 손상을 완벽하게 방지할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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