일반기술
전계방출 소자 제조방법
- 개요 본 기술은 전계방출 소자 제조방법에 관한 것으로, 특히 외부 구동회로의 신호가 전달되는 전계방출소자 전극 패드들 상부에 희생층 역할을 하는 패드 보호층을 형성하고, 이를 통해 전극 패드들의 표면 상태를 최적으로 유지하여 소자의 신뢰성을 향상시키도록 한 전계방출 소자 제조방법에 관한 것임.- 특징 상부전극 버스 패드부와 하부전극 패드부 상부에 절연물질이 형성되기 전에 희생층 역할을 하는 보호층을 형성하여 상부 절연물질의 식각에 의한 잔류물들과, 재산화 또는 열산화로 인한 산화물들이 전극 표면의 저항을 증가시키지 않도록 함.- 효과 상부전극버스 패드와 하부전극 패드의 전기적 신뢰성을 높이며, 소자의 성능을 개선할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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