일반기술
극미량 유체의 자유로운 이용을 위한 상변화 구동 방식 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
게시된 내용은 화학·의학·약학·생명 공학·환경 공학 등의 바이오 산업 전반에 걸친 첨단 응용에 필수적인 극미량 유체의 자유로운 이용을 가능하게 하는 상변화 구동 방식의 마이크로 펌프 및 그를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.본 상변화 구동 방식 마이크로 펌프는 알루미늄 증착으로 제작된 한 쌍의 수동형 마이크로 밸브와 상변화 마이크로 구동기로 구성된다. 상변화 마이크로 구동기는 히터와 실리코운 러버막, 작동액실 등을 갖는다. 작동액실 내에 채워지는 작동액의 비등과 응축으로 실리코운 러버막이 구동된다. 마이크로 펌프는 사진 식각 기술, 이방성 식각, 고농도 붕소 도핑, 알루미늄 증착 등의 마이크로머시닝 공정으로 제작함으로써 수 밀리미터 이하의 크기로 소형화가 가능하고, 소자의 집적화 및 일괄 공정에 의한 대량 생산 및 생산 단가의 절감을 꾀할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 아주대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-03-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.