일반기술

소형각속도센서(RATE GYRO)의 개발

GYRO는 가속도센서와 함께 공간상에서의 절대 및 상대 좌표를 감지하는 Motion Sensor로서 선박, 항공기, 우주선, 미사일 등에 사용되는 관성항법장치(INS)의 핵심요소이며, 미국 등 기술보유국에서 기술공개를 극력회피하는 대표적인 제품이다. 그러나 80년대 중반이후 진동형 GYRO가 제품화되면서 극한적인 정밀도가 요구되지 않는 가전 및 자동차등 민수제품에의 응용이 활발히 진행되고 있다. 그 대표적인 예로서 Camcorder에 적용된 손 떨림 감지용 Rate Gyro, 자동차의 자세제어장치 등에 이용되는 Yaw Rate Gyro 등이 있다. 그러나 아직까지는 그 성능상의 한계가 많고, 특히 감도 및 정밀도면에서 만족스럽지 못한 상황이다. 현재보다 10배정도 정밀도가 개선되어진다면, 가상현실장치에 필수적인 3차원 입력장치등 여러분야에서의 폭발적인 수요가 기대되는 바이다. 본 과제에서는 주파수 응답성과 제품크기를 희생하여 감도면에서 기존의 제품보다 우수한 진동형 각속도센서를 개발하고자 한다.자동차의 자세제어, 캠코더의 손떨림 감지, 3차원 가상현실용 입력장치등에 사용될 수 있는 소형각속도센서의 시제품개발 및 Feasibility 검증이 목표임(주요사양) - 정밀도 ≤ 0.1 degree/sec - 측정범위 ≥9 degree/sec - 크기 ≤30+30+30mm