일반기술
2축 미소변위 구동체의 구조
<목적> 정밀위치 결정이 요구되는 초정밀 가공기나 반도체 제조장비에 사용되는 2축 미소변위 구동체를 제공하는 것이다.<구성> 베이스플레이트와 X축 변위테이블, X축 변위테이블과 Y축 변위테이블 사이을 각각 양측에 2개의 기계적 힌지를 설치한 2축 미소변위 구동기구에 잇어서 X축 방향으로 단축되는 기계적 힌지를 양측에 설치함으로 X,Y축으로 작동하는 에츄에이터의 장착부위에 기계적 힌지를 추가시키므로써 미소변위의 전달력을 향상시키도록 구성되어 있다. 막의 외표면에 미세한 공경을 갖는 치밀한 스킨층 그리고 내측은 내표면이 스릿트로 구성되어 있다.초정밀 가공기나 정밀 반도체 장비에 사용되는 압전체 등을 이용한 정밀 2축 구동기구로서 실용화될 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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