일반기술

2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서

본 기술은 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 적외선 센서 제조 공정 또는 사용 중 발생하는 응력을 제거하여 제품의 신뢰성을 높일뿐만 아니라 유효면적 증가 및 볼로미터층의 저항을 감소시키는 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서를 제공함 본 기술의 목적은 검출회로 기판과 다수의 픽셀을 포함하는 적외선 센서에 있어서, 검출회로 기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층, 하부층 상에 존재하며 적외선을 공명흡수하는 공동, 공동 상부에 존재하며 상기 픽셀의 중앙부를 가로지르는 절단부가 형성된 투과 금속층과 상기 투과 금속층의 상, 하부면을 덮는 볼로미터층을 포함하는 상부층 및 상기 픽셀의 가장자리에 위치하고 상기 상부층을 지지하며 전극을 겸하는 앵커 를 포함하는 것을 특징으로 하는 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서에 의해 달성된다. 따라서, 본 발명의 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서는 투과 금속층에 절단부를 형성하고 그 상/하부면을 볼로미터층이 덮고 있는 샌드위치 구조를 취함으로써 적외선 센서 제조 공정 또는 사용 중 발생하는 응력을 제거하고 유효면적을 증가시키며 볼로미터층의 저항을 감소시켜 제품의 신뢰성, 고흡수율 및 측정 정밀도를 향상시키는 효과가 있다.