일반기술

2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서 및 그 제조방법

본 기술은 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 적외선 센서 제조 공정 또는 사용 중 발생하는 응력을 제거하여 제품의 신뢰성을 높이고 적외선 중심 파장대에서 95% 이상의 고흡수율을 달성할 수있는 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서 및 그 제조방법을 제공함상기 검출회로 기판 상부의 반사 금속층을 포함하는 하부층, 상기 하부층 상부의 공동, 상기 공동상부의 볼로미터층과 투과 금속층을 포함하며 상기 픽셀의 대각선에 대해 대칭적 구조를 가지는 상부층, 상기 상부층을 지지하며 상기 픽셀의 마주보는 두 모서리에 위치하는 제 1 앵커 및 상기 상부층을 지지하며, 상기 검출회로 기판의 접속단자와 연결되는 전극의 역할을 하며, 상기 제 1 앵커간 거리보다 가깝도록 상기 픽셀의 마주보는 두 모서리에 위치하는 제 2앵커를 포함하는 것을 특징으로 하는 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서에 의해 달성된다.따라서, 본 기술의 2층 구조의 볼로미터형 적외선 센서 및 그 제조방법은 픽셀 설계를 최적화하여 적외선 센서 제조 공정또는 사용 중 발생하는 응력을 제거함으로써 센서의 변형을 방지하여 제품의 신뢰성을 높이고 볼로미터층의 정확한 두께를 설계함으로써 적외선 중심 파장대에서 95% 이상의 고흡수율을 달성할 수 있는 효과가 있다.