일반기술

2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법

본 기술의 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법은 열적 성질 뿐만 아니라 적외선 분광학적 접근을 통하여 적외선의 흡수율을 높일 수 있는 광학 상수를 도출하고, 티타늄 또는 비정질 실리콘 볼로미터를 사용하여 λ/4 에어터널에서 공명 흡수하도록 하는 단순한 2층 구조의 적외선 센서를 제공함으로써 별도의 집광렌즈 없이 적외선의 중심 파장대에서 90% 이상의 흡수율을 가지며 유효 흡수면적(fill factor)이 80%이상인 고흡수율의 적외선 센서를 간단한 공정으로제조할 수 있다는 장점이 있다.본 기술의 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법은 광학 상수를 도출하고, 흡수된 적외선이 λ/4 에어터널에서 공명 흡수되도록 하는 볼로미터형 2층 구조의 적외선 센서를 제공함으로써 별도의 집광렌즈 없이 적외선의 중심파장대에서 90% 이상의 흡수율을 가지며 유효 흡수면적(fill factor)이 80%이상인 고흡수율의 적외선 센서를 간단한 공정으로 제조할 수 있도록 함으로써 생산성을 향상시켜 산업용 검사 장비 뿐만 아니라 온도 분해능이 작은 정밀 측정 장비로도 활용할 수 있는 효과가 있다