일반기술

2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법

본 기술은 금속 흡수층이 있는 2층 구조의 고흡수율 비냉각형 적외선 센서에 관한 것이다. 본 기술의 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법은 Si 웨이퍼 위에 형성된 버퍼층, 상기 버퍼층 위에 증착된 반사금속층 및 앵커(anchor)가 연결된 전극으로 구성된 하부층, 전극에 연결된 앵커에 의해 지지되는 센서층, 상기 센서층 위에 형성된 금속 흡수층으로 구성된 상부층 및 상기 하부층과 상부층 사이에 형성된 에어갭으로 구성되는 단위 픽셀로 이루어진 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서와 Si 웨이퍼 상에 버퍼층을 증착하는 제 1단계, 상기 버퍼층 위에 반사금속층 및 전극을 패터닝 하는 제 2단계, 상기 패터닝된 버퍼층 위에 희생층을 형성하는 제 3단계, 상기 희생층 위에 센서층을 형성하는 제 4단계, 상기 센서층위에 전극까지 연결될 수 있도록 비아 홀을 형성하는 제 5단계, 상기 비아 홀에 콘택을 형성하여 전극을 패터닝하는 제 6단계, 상기 전극이 형성된 센서층에 캔틸레버부를 형성하는 제 7단계, 상기 희생층을 제거하여 에어 갭을 형성하는 제 8단계 및 상기 제 1단계 내지 제 8단계에 의해 형성된 적외선 센서의 단위 픽셀 최상부층에 금속 흡수층을 형성하는 제 9단계를 포함하여 이루어지는 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서의 제조방법임에 기술적 특징이 있다. 따라서, 본 기술의 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서 및 그 제조방법은 비정질 실리콘으로 이루어진 볼로미터를 사용하여 에어 갭에서 공명흡수되도록 하는 단순한 2층 구조의 적외선 센서를 제공함으로써 별도의 집광렌즈 없이도 적외선 중심파장에서의 흡수율이 95% 이상이 되도록 하는 고흡수율의 적외선 센서를 제공한다.