일반기술
2층 구조의 비냉각형 적외선 센서
본 기술은 티타늄 볼로미터를 이용한 2층 구조의 고흡수율 비냉각형 적외선 센서에 관한 것이다.2층 구조의 비냉각형 적외선 센서는 버퍼층과 반사금속층이 증착되어 있는 Si 웨이퍼로 이루어진 하부층과, 상기 하부층 상부에 형성된 적어도 한 쌍 이상의 앵커(anchor), 상기 앵커에 의해 지지되는 제 1 절연막층, 상기 제 1 절연막층 위에 형성된 버퍼층; 상기 버퍼층 위에 형성된 열선, 상기 열선위에 형성된 제 2 절연막층 및 상기 제 2 절연막층 위에형성된 금속흡수층을 포함하는 상부층으로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.따라서, 본 기술의 2층 구조의 비냉각형 적외선 센서는 티타늄 볼로미터를 사용하여 입사된 적외선이 에어 갭에서 공명 흡수되도록 하는 단순한 2층 구조의 적외선 센서를 제공함으로써 별도의 집광렌즈 없이도 적외선 흡수율이 좋은 고감도의 적외선 센서를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 광자학
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-03-31
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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