일반기술
스캐닝 탐침 현미경의 탐침특성 측정장치
본 기술은 종래의 미소 질량을 추가하면서 SPM 탐침 시스템을 규명하는 방법의 단점을 보완하기 위해 제안된 궤환 제어기를 이용한 탐침 시스템 규명 방법에 관한 것이다. 궤환 제어기를 이용할 경우 추가로 미소 질량을 추가할 필요가 없고 미소 질량이 추가되는 위치에 따른 오차 발생 요인을 미리 차단할 수 있는 장점이 있다. 또한 추정 절차가 단순하고 제어기를 사용하기 때문에 추가 장비 없이 실시간으로 SPM 탐침 시스템을 규명할 수 있다. SPM을 사용함에 따라 탐침의 마모나 변형이 생길 수 있는데 이때 제안된 방법을 사용하면 효율적으로 탐침 시스템을 규명할 수 있다. 이 방법은 다양한 종류의 SPM 탐침 시스템 규명에 활용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 정보
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-04-02
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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