일반기술

혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법

본 기술은 미세접촉인쇄 기술을 이용한 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 복수 개의 마스터 주형 상에 각각 음각 패턴을 형성하는 단계, 상기 마스터 주형 상에 액상 고분자를 붓고 경화시켜서 상기 음각 패턴에 대응되는 양각 패턴을 구비한 복수 개의 고분자 도장을 제조하는 단계, 상기 복수 개의 고분자 도장의 표면에 서로 다른 기체 검출 물질을 묻힌 후 미세접촉인쇄 기술을 이용하여 순차적으로 기판 상에 기체 검출 물질 패턴을 형성하는 단계 및 상기 서로 다른 기체 검출 물질 패턴의 교차점에 접촉저항 감소물질 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공한다.본 기술에 따르면, 종래의 리쏘그라피 공정 등에 비해서 고가의 장비를 필요로 하지 않고도 용이하게 다양한 기체 검출 물질을 하나의 센서 내에 구현할 수 있고, 정확한 교차접합 센서의 메카니즘 분석을 가능하게 하며, 저전력으로도 높은 감도로 혼합기체의 정확한 정성 및 정량적 분석을 가능하게 하는 혼합기체 검출용 기체센서의 제조방법, 이로부터 제조된 혼합기체 검출용 기체센서 및 상기 기체센서를 이용한 혼합기체의 검출방법을 제공할 수 있다.