일반기술

광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법

본 발명은 일정부분의 참조광과 물체광의 광 감도를 일치시켜 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있도록 한 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 광간섭계로부터 참조광과 물체광을 각각 입사받아 CCD카메라를 통해 이미지화하는 단계와, 이미지화 단계에서 얻어진 참조광 이미지와 물체광 이미지의 일정부분의 광 감도를 비교하는 단계와, 광 감도 비교단계에서 기 설정된 기준치 범위인 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시하고, 기 설정된 기준치 범위를 벗어난 경우 상기 광간섭계를 조절하여 참조광과 물체광을 각각 재측정하여 반복수행하는 것을 특징으로 한다. 상기의 기술적 구성에 따르면, 참조광과 물체광의 이미지를 각각 획득하여 일정부분에 대하여 광 감도를 비교 판단함으로써 참조광과 물체광의 광 감도가 일치하는 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시함으로써 측정자의 주관을 배제하고, 그 결과 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있게 된다.