일반기술

커패시터용 전극층과 커패시터용 전극층의 제조방법, 그 전극층을 이용한 단위센서 및 그 단위센서를 이용한 촉각센서

<기술의 개요>본 기술은 커패시터용 전극층과 커패시터용 전극층의 제조방법으로, 그 전극층을 이용한 단위센서 및 그 단위센서를 이용한 촉각센서에 관하여 개시하며 본 기술의 전극층은 폴리머 기판과 폴리머 기판상에 형성되는 전극 및 신호 전달선이 구비되는 것을 특징으로 하고 단위센서는 상술한 전극층으로 이루어진 상부 및 하부 전극층과 폴리머로 이루어진 스페이서층이 구비되는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 의하면, 유연성이 뛰어나고 제조가 용이하며, 확장이 용이한 센서를 구현할 수 있다.<기술의 특징> 폴리머 기판과 폴리머 기판 상에 형성되는 전극과 이 전극과 연결되도록 폴리머 기판 상에 형성되는 신호 전달선이 구비되는 것을 특징으로 한다.<기술의 장점>액상의 폴리머를 이용하여 기판을 형성함으로써 유연성이 뛰어나고 제조가 용이함.단위센서의 스페이서층의 형성시 사진식각 공정을 도입함으로써 1mm 이하의 해상도도 구현할 수 있음.