일반기술

2-축 가속도 센서 및 그 제조방법

<기술의 개요>본 기술은 측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로 기존의 전계 방출을 이용한 가속도 센서는 수직형 전계 방출을 이용하기 때문에 1-축에 대한 가속도 밖에 측정 할 수 없지만, 본 기술에서는 측면 전계 방출을 이용하기 때문에 2-축에 대한 가속도를 동시에 측정할 수 있으며 화학 기계적 연마방식을 이용하여 탐침 간격이 매우 좁은 탐침 전극을 제조하기 때문에 낮은 전압에서 동작을 하게 되고 또한 기존의 높은 전압에 의한 정전기력을 이용하여 탐침을 가까이 가져오는 단계가 필요하지 않게 됨. 전계 방출을 이용하면 다른 방식의 가속의 감지 방법에 비해서 높은 감지도와 민감도를 가진다.<기술의 특징> - 2-축에 대한 가속도를 동시에 측정할 수 있는 2-축 가속도 센서를 제조할 수 있도록 함. - 전계 방출을 위한 탐침 간격을 줄이기 위한 별도의 전극 없이 터널링이 일어날 수 있는 충분히 가까운 거리를 가지는 전극을 가지는 2-축 가속도 센서를 제조할 수 있도록 함.<기술의 효과> - 저전압 동작이면서 2-축에 대한 가속도를 매우 정확하게 감지할 수 있음. - 터널링 전류의 요동 (fluctuation)을 줄이기 위해 전계 방출용 탐침의 개수를 여러 개로 하여 그 효과가 평균화되어 요동의 영향을 줄일 수 있음.