일반기술

공초점 자가 간섭 현미경

기술의 개요 - 본 기술은 공초점 주사 현미경에서 비축 물체에서 반사된 빛을 복굴절 파장판을 이용하여 자가 간섭시켜 측정되는 빛의 강도를 비축 물체가 초점에서 벗어남에 따라 급격히 떨어뜨려 수평 방향 분해능을 향상시키는 공초점 자가 간섭 현미경에 관한 것으로, 조사빛을 제공하는 광원과 그곳에서 나온 빛을 집광하여 시편에 조사하는 대물 렌즈와 시편에서 반사되어 대물렌즈를 통과하여 나오는 평행광을 각기 다른 광경로를 거치도록 굴절시킨 후 두 가지 편광방향을 발생시키는 복굴절 파장판과, 복굴절 파장판을 통과한 두 가지 편광을 자가 간섭시키기 위한 편광판과 그것을 통과한 빛을 집광시키는 집광렌즈와, 집광렌즈에 의해 집광된 빛의 초평면에 위치된 바늘구멍개구, 그 바늘구멍개구를 통과한 빛을 측정하는 광전검출기로 구성된 것을 특징으로 함.기술의 장점 - 수평 방향 분해능을 향상시킬 수 있으며, 긴 파장의 광원을 이용하는 경우에도 높은 분해능을 얻을 수 있어 장치 구현에 소요되는 비용이 적음. 또한, 종래의 공초점 주사 현미경으로는 측정하지 못하던 형상을 측정할 수 있어 반도체, 영상 출력 장치 등의 측정/검사에 응용될 수 있음.