일반기술

선형구동기

기술의 개요 - 본 기술은 직선운동을 필요로 하는 구동시스템이나 초정밀 2축 또는 3축 스테이지, 그리고 리소그라피 장비가 요구하는 3축 스테이지의 틸트 구동 시스템에 적용되는 선형구동기에 관한 것으로, 영구자석과 코일을 이용한 서브선형구동기와 이동 간격을 전류의 량으로 형성하고, 이동 간격에 형성되는 자속의 세기를 코일에 인가되는 변화시켜 자속의 밀도 차에 의한 직선 구동의 힘을 얻고, 구동 힘을 연결 축과 구동부의 틀어짐을 막으면서 직선 운동의 가이드 역할을 갖도록 원판을 사용을 하여 직선운동을 얻을 수 있도록 한 것임.기술의 특징 - 전자석과 영구자석의 상대적인 자속변화에 따른 인력의 차이를 이용하여 자속흐름의 연계를 위한 다수개의 요크를 대칭되게 배치하여 상호간에 상대적으로 직선구동이 가능하게 함.기술의 장점 - 구동대상의 선별에 따른 영구자석 및 전자석과 요크부의 간단한 조합만으로도 정밀하고 신속한 직선구동이 가능하며, 전자석의 코일 양단에 인가되는 전류의 극성 및 크기를 달리함으로써 구동력의 크기나 구동시간이 변경 가능함.