일반기술

고강성 듀얼 서보 나노스테이지

본 기술은 진공용 볼스크류와 피에조를 이용한 듀얼서보 개념의 대변위 나노 스테이지에 관한 기술로서, 기존 스테이지의 미세 분해능과 정밀도를 향상시키기 위하여 볼스크류와 피에조를 직렬형태로 배치하여 구성된 스테이지에 관한 것이다.최근 스테이지의 대변위 기술과 나노분해능의 기술적 요구가 커지고 있으며, 기존 특허 및 장비기술의 경우 볼스크류와 피에조의 병렬형태로 구성이 되어 수백마이크로의 영역에 대해서는 나노분해능이 가능하나 본 기술의 경우 수백미리영역을 나노분해능이 가능한 특징이 있다.<기술의 차별점>본 기술이 위 응용분야의 기존 기술보다 뛰어난 장점 및 특징은 다음과 같다. - 수백미리 전 영역을 나노분해능이 가능하도록 구성이 가능함 - 실제 구현 시 최대 20nm까지 구현이 가능하였음(성능 향상 가능성 여지 큼) - 기존 특허 제10-0663939호(진공용 대변위 나노 스테이지) 기술보다 강성 우수함 - 특히, 고진공환경에서의 성능 우수함