일반기술
전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그의 제조방법
본 기술은 전계 효과 트랜지스터를 포함하는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 포토리소그라피 공정으로 제작된 유효 채널 길이가 나노 스캐일인 전계 효과 트랜지스터를 포함하는 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법에 관한 것이다.따라서, 본 기술은 유효채널의 길이를 정밀하게 제어할 수 있어, 전계 효과 트랜지스터를 포함하는 원자간력 현미경 캔틸레버를 제조하기 위한 시뮬레이션을 용이하게 할 수 있으며, 저가의 포토리소그라피 장비를 적용하여 수십 내지 수백 나노미터 이하의 유효채널을 가지는 전계 효과 트랜지스터를 포함하는 원자간력 현미경 캔틸레버를 제조할 수 있어 제조 공정의 정확성 및 수율을 향상시키고 공정비용을 대폭 절감할 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-06-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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