일반기술
유사위상정합 도파관의 제조방법
본 기술은 LiNbO3, LiTaO3, MgO:LiNbO3, ZnO:LiNbO3 등과 같은 강유전체기판을 이용한 초소형 고효율 도파관을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 유사위상정합 도파관의 제조방법은 강유전체 기판상에 일정간격으로 분극 영역을 형성하는 단계, 분극 영역상에 건식식각공정을 통하여 도파관을 형성하는 단계, 도파관에 더미기판을 접합하는 단계, 및 강유전체 기판을 평탄화하는 단계를 포함할 수 있다.따라서, 본 기술의 제조방법에 따라 제조된 강유전체 도파관은 종래의 열처리 공정을 생략함으로써, 비선형 특성의 손실을 막을 수 있으며, 순수 강유전체만을 도파관으로 이용함으로써, 파장변환소자의 고효율 및 소형화의 구현이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-06-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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