일반기술

실리콘 마이크로 미러의 제작 방법

본 기술은 실리콘 마이크로 미러의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 실리콘 기판과 단결정 실리콘을 사용하여 편평하고 견고하며 평탄도가 우수한 마이크로 미러와 구동기를 제작하기 위한 마이크로 미러의 제작 방법에 관한 것이다. 본 기술의 실리콘 마이크로 미러의 제작 방법은 제1 실리콘 기판의 상/하부에 절연막을 증착하는 단계, 제1 실리콘 기판의 하부를 식각하는 단계, 제2 기판 상부에 금속 전극이 형성될 부분을 식각한 후, 금속 박막을 증착하는 단계, 증착된 금속 박막 상에 제1 금속막을 증착하는 단계, 제1 실리콘 기판과 제2 기판을 접합하는 단계, 제1 실리콘 기판의 절연막을 화학기계적연마하는 단계, 제1 실리콘 기판을 패터닝하는 단계 및 제1 실리콘 기판 상에 제2 금속막을 증착하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 본 기술의 실리콘 마이크로 미러의 제작 방법은 고가의 SOI 기판 대신에 실리콘 기판을 사용하고, 다결정 실리콘을 이용하지 않고 단결정 실리콘을 사용함으로써 기계적인 강도와 광학적인 특성이 우수하고, 일반적인 실리콘 기판을 사용하기에 경제적이며, 공정이 단순해지는 효과가 있다.