일반기술

Mn 도핑된 ZnO 박막의 상온 강자성과 높은 캐리어 이동도

1. 기술의 개요 IT산업의 발달은 반도체로 하여금 더 작은 크기와 빠른 응답특성을 요구함에 따라, 신개념의 반도체의 필요성이 증가되었고, 그 중에 가장 실현가능성 있는 것으로 스핀반도체가 부각되어 많은 연구가 진행되어왔다. 특히 대표적 와이드밴드갭 반도체인 아연산화물(ZnO)에 강자성체를 주입하여 우수한 강자성특성을 보여왔다. 하지만, 제조공정이 매우 어렵고, 소자의 응답특성을 제어할 수 없었다.2. 기술의 특징 이번 개발에서 제조공정 시 필요한 산소의 양을 정밀하게 제어할 수 있는 방법을 제시하였고, 수소주입 후 열처리를 통하여, 전하 이동도를 향상시킬 수 있었다. 이번 성과로 많은 우수한 특성을 가졌음에도 불구하고 제조 상의 여러가지 문제점으로 인하여 답보상태에 빠져있던 스핀반도체 개발을 일보 진전 시킬 수 있었다. 이를 통해 스핀, 전하, 빛을 제어하여 이용하는 다기능성 고속용 반도체의 다양한 응용이 예상된다.