일반기술
저온 결정성 박막 제조 방법 및 박막 제조 장치
저온에서 높은 결정성을 갖으면서 빠른 성장속도로 실리콘 박막을 증착할 수 있는 기술은 여러 산업분야에서 필요로 하고 있다. 특히, solar cell, LCD, OLED산업에 응용가치가 크다고 할 수 있다. 본 기술은 hot wire chemical vapor deposition장비를 이용해서 저온에서 빠른 성장속도를 갖는 고품질의 실리콘 박막을 증착에 관한 기술이다. 본 기술의 특징은 저온 결정성 박막 제조 방법 및 박막 제조 장치에 관한 것으로서, 저온에서 후처리 등이 필요하지 않는 단축된 공정으로 고품질의 다결정 실리콘 박막을 증착할 수 있도록 하는 저온 결정성 박막 제조 방법 및 박막 제조 장치에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국과학재단
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-06-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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